驱动等离子光源原型实现了输出达108W
时间：2020-02-01 07:17:04 来源：西贡环保厂家 浏览量：7
日本半导体曝光设备用光源领域的大型厂商Gigaphoton称其EUV光源扫描仪实现了连续运行和稳定发射：驱动等离子光源原型实现了输出达108W，平均能量稳定性为0.5%的结果。
Gigaphoton副总裁兼首席技术官Hakaru Mizoguchi表示： 我们成功研发出持续运作24小时、输出达108W的EUV光源扫描仪，说明了我们正在接近完成低成本、高输出稳定运行的EUV光源的研发；而这也正是半导体厂商所需要的。
这一成果建立在一些关键技术基础上：例如能生成直径为20微米或更小锡滴的液滴生成器、固态预脉冲及主脉冲以及采用磁场与能量控制技术的碎片减缓技术等。
位于日本筑波的超紫外光刻基础设施研发中心（EIDEC）也在使用Gigaphoton公司的EUV光源。
Gigaphoton公司计划在2015年底研发出250W级别高输出实验装置，这也是内存储设备量产所需的技术。
Mizoguchi表示： 我可以肯定的是当我们将该技术推向市场的时候，也就是下一代曝光技术出现的时候；同时我也相信将极大地改善半导体的性能，并作为支持信息技术的核心技术为行业的发展带来划时代的贡献。 （文/Oscar译）
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